Установки травления и напыления

Установка для вакуумного и магнетронного напыления серии Scancoat Six (Канада), 

Вакуумная напылительная установка (производства Structure Probe, Inc., США).

Установка плазмохимического травления RIE-1701.

Информация © 2015-2018 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Департамент информационных технологий